MEMS器件：光学MEMS、射频MEMS、MEMS物理传感器(加速传感器、速率传感器、压力传感器、气体传感器、温度传感器)、微射流(微流引导、微感应器等)；MEMS执行器；MEMS电能(燃料电池、微发电机等)；高复合型MEMS(CMOS/MEMSLSI/MEMS 一体化)

MEMS代工服务：仿真设计、原型测试、产品开发、量产；其他代工服务：图案形成、薄膜形成、雷射、离子脉冲加工、喷镀

MEMS应用：产品 (麦克风、显示等)；超微型机械人装置、微型工厂等；传感器网络；能量收集

MEMS加工设备：薄膜成形(汽相淀积、溅射、CVD、覆镀；曝光系统、蚀刻技术；防腐处理；刻蚀；晶圆键合；切割；芯片；导线焊接；封装；微成形(注射、热压)；其他生产设备

分析与检测仪器：光量缺陷检测、封装检测、表面分析仪器、粗糙度仪、扫描电子显微镜、薄膜厚度测量系统；显微镜：光学显微镜、电子显微镜、探针显微镜、电子能谱仪；检漏仪器、静电负离子空气净化机；气体分析及检测、分析和测量系统

纳米机械微制程技术：超精度纳米机械工艺；超精密加工、微制造；表面微加工；精细钻孔；微观切割；雷射、离子脉冲加工；聚焦离子束系统；微放电加工；超声波设备等

材料：压电薄膜材料(ZnO、AIN、PZT)、抗压材料、附着材料、保护材料；碳纳米管、蓝宝石、聚合物、陶瓷；SiC；磁性材料、铁电性材料

纳米压印技术：微纳米模型；纳米压印生产设备

生物技术与医疗应用：MEMS在医疗处理及诊断方面的应用、DDS、纳米胶囊；尖端DNA& RNA 技术、微反应器、微流引导、生物/化学MEMS(DNARNA技术、化学检测)等