参展企业：上海敖纯过滤技术有限公司

上海敖纯过滤技术有限公司

展位号：B-064

由中国半导体行业协会和中国电子信息产业发展研究院联合主办，北京赛di出版传媒有限公司承办的第二十二届中国国际半导体博览会（IC China 2025），已定于2025年11月23—25日在北京国家会议中心盛大启幕。本届博览会秉持“集合全行业资源 成就大产业对接”理念，致力于搭建覆盖半导体产业全链条的一站式对接平台。

企业介绍

上海敖纯过滤技术有限公司,专注于电子气体超净过滤业务。公司是微电子行业内电子气体超纯过滤解决方案主要提供商,解决了客户在半导体生产制程中大宗气体、特种气体的超纯净过滤需求。公司产品对标国外同行业优秀产品,在日趋挑战的国际竞争大环境下,公司努力实现微电子气体过滤器的国产化替代为中国的半导体行业贡献一份力量。

高品质超纯气体过滤器,过滤精度达0.003um;·国产化制造,实现半导体产业供应链安全保障:·产品适用于:集成电路(1C)、平板显示(FPD)、发光二极管(LED)、光伏电池片(Photovoltaic)、新材料制造等行业。

产品介绍

POU气体过滤

公司主要产品，AltraPure® 系列在线式气体过滤器，专为超高纯度气体过滤应用而设计，对干燥气体的过滤精度达到0.003μm。

独特的结构设计，即使在高流量情况下，仍能保持较低的压力损失。

过滤器具有优秀的化学兼容性，适用于所有种类的半导体制程气体，如：大宗气体输送、沉积、光刻、刻蚀、氧化、扩散、离子注入等干法或湿法制程中工艺反应气体、吹扫气体、保护气体等的过滤。

大流量气体过滤解决方案

BGF不锈钢气体过滤器壳体，配合AltraKleen PTFE超纯气体过滤滤芯，可以应用在大流量气体系统的颗粒物过滤，实现对干燥气体过滤精度达到0.003μm。配合不锈钢金属绕结滤芯，也可以解决高温气体过滤问题。

管路气体元件保护

AltraPure GSK系列嵌入式垫片过滤器，是一种紧凑的全金属过滤器，适用于半导体制程气体分配系统中的采用标准管路的1/4”、3/8°、1/2”VCR连接的场景。

这些紧凑型过滤器保护敏感气体组件在高达400℃(752下)的应用中免受颗粒物影响而受到损坏，如：质量流量控制器，调节器和阀门等。

END